电子厂车间废气有哪些治理办法

电子厂工业废气处理中通常会采用绝缘层材料、有机溶剂、清洁剂、显像剂、光刻、蚀刻液等中带有大量有机物的成分。在下加工工艺中，这一些有机溶剂根据挥发变为废气排放。目前，对于这样的废气排放，关于电子厂工业废气我们可以采取焚烧处理、活性炭吸附、冷凝法、光催化氧化法、高温等离子体净化处理等六种方法。

电子工业废气VOCS普遍的种类有：异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯方等。

1、焚烧处理（RTO）：耗能大、运作费用高，适宜解决浓度较高的、小风速有机气体；

2、活性炭吸附法（活性碳）：小投资、加工工艺简易，易饱和，必须与解吸、冷凝、焚烧处理等方法合用方能达到排放量标准；

3、冷凝法：与吸收、活性炭吸附等办法合用，将有机气体活性炭吸附萃取后冷凝、提取，回收当中有使用价值的有机化合物。这种方法常用浓度值高、风速小的有机废气治理场合。

弊端是：投资、耗能、运作成本高，冷凝回收物提纯解决后，仍有很大部分液体废料必须进一步处理。

4、沸石转轮萃取+焚烧处理：沸石转轮浓缩设备主要依赖进口的，自主机器设备暂不成熟。该加工工艺同样与生产设备、制作工艺存有匹配关系；

5、光催化氧化法：使用C波段（仅低于切割不锈钢板的激光，强过氩弧焊光源的数十倍强度）在机器设备内，强裂解恶臭味成分分子链，转变成分结构，将高分子材料污染源成分，裂解、氧化变成低分子无害成分，如水和二氧化碳等；

6、高温等离子技术净化处理法：通过压缩、高压聚能充放电变成高温等离子技术。反应器压力增大，废气容积大幅度膨胀，在高温、高电势的双向作用下，有机气体瞬间(万分之5秒)变成高温等离子技术，当中长分子链裂解成单质原子，有机化合物净化率在90%上下。